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标题：ModelpredictivecontrolwithobstacleavoidanceforinertiaactuatedAFMprobesinsideascanningelectronmicroscope

作者：S.Liang,M.Boudaoud,P.Morin,J.Cailliez,B.Cagneau,W.RongandS.Régnier

来源：IEEEInternationalConferenceonRoboticsandAutomation(ICRA)

编译：王春颖

审核：柴毅，王靖淇

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摘要

原子力显微镜（AFM）是在微米和纳米尺度上进行3D成像和操作的可靠工具。当在扫描电子显微镜（SEM）中使用时，可以通过视觉反馈对AFM探针进行纳米分辨率定位和的控制。然而，实现轨迹控制和避开障碍仍然是操纵任务的主要